mks比例閥驅(qū)動(dòng)器1249B華東區(qū)銷售
  mks比例閥驅(qū)動(dòng)器全量程壓力測(cè)量作為單個(gè)模擬輸出信號(hào)或通過(guò)可選的串行RS-485或DeviceNet?數(shù)字接口提供。取決于提供了三個(gè)可選的設(shè)定點(diǎn)繼電器，可以將它們配置為用于過(guò)程控制在整個(gè)真空范圍內(nèi)的任何壓力下分配繼電器的能力。該系列392 Micro-Ion Plus可以帶或不帶顯示屏，并且可以配置為寬各種法蘭。第二代Micro-Ion Plus具有集成的儀表組件電子存儲(chǔ)器包含工廠校準(zhǔn)信息。電存儲(chǔ)器由控制器使用模塊可為新的和替換的儀表提供工廠級(jí)的校準(zhǔn)精度，并跟蹤量規(guī)的使用信息，以便MKS服務(wù)團(tuán)隊(duì)可以快速了解您的應(yīng)用程序環(huán)境。微型Pirani Conductron提供更高的精度通過(guò)在量規(guī)范圍內(nèi)進(jìn)行更好的熱管理。
運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)可以根據(jù)被測(cè)器件以多種方式定制。圖1顯示了光纖對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的不同配置，從簡(jiǎn)單的單通道單側(cè)設(shè)置到更復(fù)雜的雙面多通道設(shè)置，其中包括機(jī)器視覺(jué)、點(diǎn)膠/固化以及上下料等。其他設(shè)置可能包括水平和垂直波束的輸入和輸出。每種配置都需要一組*的運(yùn)動(dòng)控制產(chǎn)品，這取決于該器件所需的性能。 
微離子ATM現(xiàn)在共享一個(gè)通用平臺(tái)以提高產(chǎn)品質(zhì)量通過(guò)大批量制造。
在寬廣的真空范圍內(nèi)進(jìn)行精確測(cè)量通常需要多個(gè)儀表組件，另外真空端口，相關(guān)的電氣接口和控制系統(tǒng)。 Micro-Ion Plus全范圍真空模塊將多個(gè)傳感器組合到單個(gè)規(guī)格的管中連接到高級(jí)控制電子模塊創(chuàng)建緊湊的模塊化量規(guī)設(shè)計(jì)接口要求，并降低總體成本所有權(quán)，同時(shí)增強(qiáng)真空測(cè)量性能。下一代Micro-Ion Plus結(jié)合了通過(guò)30年的真空計(jì)獲得的知識(shí)設(shè)計(jì)和現(xiàn)場(chǎng)安裝，以及我們廣泛的與原始設(shè)備制造商（OEM）合作終用戶客戶。 高性能，全系列緊湊的單個(gè)真空端口中的真空測(cè)量擁有成本低的設(shè)計(jì)，請(qǐng)選擇系列392 Micro-Ion Plus或從我們的所有MKS系列中進(jìn)行選擇壓力測(cè)量解決方案。
特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)：

?連續(xù)壓力測(cè)量高真空

?緊湊的多傳感器量規(guī)設(shè)計(jì)

?消除了兩個(gè)獨(dú)立的需求量規(guī)

?雙電離規(guī)燈絲增加設(shè)備正常運(yùn)行時(shí)間

?電離規(guī)激活自動(dòng)化和停用

?可選的模擬，RS-485或DeviceNet介面

?RS-485和DeviceNet具有可選用于過(guò)程控制的設(shè)定點(diǎn)繼電器

?可選的法蘭配置

?現(xiàn)場(chǎng)可更換量規(guī)，低擁有成本

?電子量規(guī)管存儲(chǔ)器可確保放置的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性量規(guī)

?改進(jìn)的微型皮拉尼導(dǎo)體準(zhǔn)確性

?利用第二代產(chǎn)品Granville-Phillips真空吸塵器的30年量規(guī)設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)

?由MKS服務(wù)支持計(jì)劃支持

模擬輸出

對(duì)數(shù)壓力，0.5至7.0 VDC，0.5 V /十倍

RS-485串行接口

數(shù)字通信接口2線半雙工

通信格式ASCII：無(wú)奇偶校驗(yàn)，一個(gè)停止位

波特率1200、2400、4800、9600、19200（默認(rèn)），38400

地址0-63，使用地址開(kāi)關(guān)和RS-485命令選擇

DeviceNet接口

消息輪詢的I / O和顯式

數(shù)據(jù)速率125、250或500 kbaud，可選開(kāi)關(guān)

地址0-63，使用低和高地址開(kāi)關(guān)選擇

工作溫度10°至40°C（50°至104°F），無(wú)冷凝

儲(chǔ)存溫度-40°至+ 70°C（-40°至+ 158°F）

烘烤溫度蕞高105°C（221°F），已拆下電子設(shè)備

電離規(guī)發(fā)射電流自動(dòng)調(diào)整范圍
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自動(dòng)離子規(guī)控制設(shè)置（默認(rèn)）

2x10 -2 Torr的電離規(guī)； 2.66x10 -2毫巴;壓力降低時(shí)為2.66 Pa

電離規(guī)關(guān)閉3x10 -2托，3.99X10 -2 mbar;壓力增加時(shí)為3.99 Pa

切換到高發(fā)射5X10 -6 Torr； 6.66X10 -6毫巴; 6.66X10 -4 Pa，壓力降低

切換至低輻射1x10 -5托； 1.33x10 -5毫巴; 1.33X10 -3 Pa，壓力升高

電離計(jì)脫氣電子轟擊； 3瓦1分鐘/單絲

電離規(guī)長(zhǎng)絲鎢或釔包覆的銥

燈絲操作請(qǐng)參見(jiàn)注釋（7）交替（默認(rèn)為氧化釔），自動(dòng)，手動(dòng)（默認(rèn)為鎢絲）

熱損失傳感器線鍍金鎢

規(guī)格體積10.8厘米3（0.65英寸3）

LED指示燈模塊狀態(tài)

I / O連接器

RS-485 /模擬15針D-sub公頭

DeviceNet 5針微型連接器

大浪涌電流

RS-485 / Analog 2 A，48W，持續(xù)0.5秒

所需功率

RS-485 /模擬24 VDC + 10％至-15％，1 A，22W;

DeviceNet 24 VDC±15％（20.4V時(shí)1.5A），30W峰值時(shí)3.0A

可選的顯示圖形LCD

可選的設(shè)定點(diǎn)繼電器RS-485或DeviceNet：2個(gè)SPDT（NO / NC）或3個(gè)SPST（NO），每個(gè)都可以獨(dú)立設(shè)置

繼電器觸點(diǎn)額定值

30 VDC時(shí)大1 A，電阻負(fù)載

5 VDC時(shí)小5 mA，電阻負(fù)載

重量728.5克（25.7盎司）（2.75扁平接頭）

表殼材料鋁擠壓粉末涂層

真空304不銹鋼，鉭，鎢，氧化釔涂覆的銥，氧化鋁，CuAg共晶，

Kovar?，鍍金或鎳的Kovar硼硅酸鹽玻璃
機(jī)械運(yùn)動(dòng)平臺(tái)由電磁電機(jī)驅(qū)動(dòng)的電動(dòng)平臺(tái)通常用于生產(chǎn)環(huán)境中，以實(shí)現(xiàn)對(duì)準(zhǔn)過(guò)程的自動(dòng)化。通常具有亞微米量級(jí)的最小步進(jìn)和重復(fù)定位精度，而使用這些平臺(tái)可大大提高通信器件的質(zhì)量和性能。精密光纖對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)中常用的驅(qū)動(dòng)技術(shù)包括：

帶直接讀取編碼器的直線運(yùn)動(dòng)平臺(tái)——當(dāng)搭配XPS-D運(yùn)動(dòng)控制器一起使用時(shí)，XMS直線運(yùn)動(dòng)平臺(tái)具有1nm MIM能力的最高精度等級(jí)。XMS可以快速、輕松地搜索一個(gè)直徑10μm區(qū)域內(nèi)的最高峰值。圖4顯示了使用XMS平臺(tái)進(jìn)行五軸調(diào)整的雙側(cè)多通道配置系統(tǒng)。
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